첨단 반도체 공정 서비스, AI·데이터 기반으로 제공

정부가 올해부터 2026년까지 총 270억원을 투입해 인공지능(AI)과 데이터 기반으로 첨단 반도체 공정 서비스를 제공한다. 

과학기술정보통신부는 20일 나노종합기술원에서 ‘공공 나노팹 운영 혁신 자문위원회’를 열고 올해 신규사업으로 ‘AI·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스’ 구축을 추진한다고 밝혔다.

이번 사업은 공공 나노팹이 데이터 기반의 고도화된 공정서비스를 제공하도록 나노팹 공정 데이터의 체계적이고 지속가능한 활용 기반을 갖춰 나가는 사업이다.

나노종합기술원 등 공공 나노팹에는 해마다 수만 건의 나노·반도체 분야 공정서비스를 지원하는 시설이 갖춰져 있다.

하지만 서비스 데이터를 축적해 활용할 수 있는 기반이 없어 공정 경험을 축적하고 활용하는 체계적 서비스 운영에 한계가 있었다.

과기정통부는 이를 해결하기 위해 개별 장비 단위로 운영인력의 경험과 실력에 좌우돼 관리되던 공정과 장비 데이터를 빅데이터화 한다.

또 장비 간 데이터를 유기적으로 연계하는 등 인공지능(AI) 기반의 나노팹 스마트 운영서비스를 구축할 예정이다.

이를 통해 연구기관과 기업에 제공하는 나노팹 공정서비스의 수준을 획기적으로 높이고 연구개발에 걸리는 시간을 크게 단축시킬 계획이다.

이번 사업은 나노팹의 스마트화를 통한 기능과 서비스 고도화와 나노팹 공정데이터의 빅데이터화와 AI를 활용한 디지털화로 이뤄졌다.

먼저 엔지니어가 보유한 전문성과 상호 보완이 가능한 데이터 기반의 연구 지원체계를 구축해 공정서비스 시간을 최소화하고 인력공백으로 인한 공정서비스 단절을 극복한다.

또 실패 공정 답습으로 인한 연구개발 지원의 비효율성을 없애는 등 나노팹 지원체계의 효율화와 효과성을 강화한다.

특히 데이터와 AI를 활용한 공정검증과 공정·장비 데이터의 공공화로 체계적이고 신속·정확한 공정구현이 가능해짐에 따라 연구개발에 소요되는 시간과 비용은 줄어들 것으로 보인다.

아울러 최첨단 장비 기반 국가 나노 산업 생태계 성장 촉진을 위한 나노팹의 공정데이터 활용체계를 극대화한다.

이번 사업은 나노·반도체 기업과 연구기관에 품질·설계 검증, 성능검증 등에 활용가능한 필요 데이터를 제공해 나노·반도체 분야 연구개발 생태계의 디지털화와 산업화 촉진에 이바지할 것으로 기대된다.

이창윤 과기정통부 기초원천연구정책관은 “이번 사업은 반도체 공정 등에 데이터와 AI를 적용해 연구성과를 창출하는 혁신적이고 의미있는 사례가 될 것”이라며 “향후 국가나노인프라기관에 적용을 확대함으로써 산·학·연 반도체 공정개발에 크게 기여할 것”이라고 밝혔다.

문의 : 과학기술정보통신부 기초원천연구정책관 융합기술과(044-202-4571)

(www.korea.kr)